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WUXI JIANGSONG SCIENCE AND TECHNOLOGY CO., LTD

Product Display
PEB-46LL


產(chǎn)品型號(hào) PEB-46LL
產(chǎn)品名稱
生產(chǎn)工藝 板式PECVD工藝
設(shè)備功能 將沒經(jīng)過板式PECVD工藝處理的硅片自動(dòng)化取出裝入碳框載板,并將經(jīng)過工藝處理后的碳框載板內(nèi)的硅片自動(dòng)化取出裝籃。
適用硅片
單晶/多晶 兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工裝
硅片花籃 片數(shù)=100、片距=4.76
使用江松花籃或客戶自有花籃(客戶提供圖紙,實(shí)物需滿足圖紙公差要求)
硅片載板 4×6石墨框兼容5×6石墨框(客戶提供圖紙,實(shí)物需滿足圖紙公差要求)
設(shè)備運(yùn)行能力
實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) ≥3200~3600片/小時(shí)(4×6石墨框)
≥3800~4200片/小時(shí)(5×6石墨框)
正常運(yùn)行時(shí)間(up time) 98%
平均故障時(shí)間(MTBF) MTBF≥500小時(shí)
平均故障修復(fù)時(shí)間(MTTR) MTTR≤1小時(shí)
碎片率 ≤0.05%(不含本身隱裂,線痕等缺陷片)A片
動(dòng)力要求
電源 AC 220V 單相50HZ
功率 5.5KW
壓縮空氣 ≥0.6Mpa、主氣路管道直徑≥16mm
環(huán)境
溫度/濕度 0~35℃/40%~60%
潔凈度 符合十萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)相關(guān)規(guī)范要求
噪音 ≤60dB
設(shè)備結(jié)構(gòu)
整機(jī)重量 3300kg
外形尺寸(mm) 4700×3620×2000(長(zhǎng)×寬×高)
設(shè)備操作方位 見方案圖
硅片上料通道數(shù)量 通道數(shù)=2
硅片下料通道數(shù)量 通道數(shù)=2
硅片上料方式 花籃式上料(手動(dòng)裝卸、空花籃自動(dòng)流轉(zhuǎn))
硅片下料方式 花籃式下料(手動(dòng)裝卸、空花籃自動(dòng)流轉(zhuǎn))
載板物流方向 上層:進(jìn)主工藝機(jī)、下層:出主工藝機(jī)
載板對(duì)接上層高 上層高=1080
載板對(duì)接下層高 下層高=450